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當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心表面分析離子源系統C60 40C60-40 離子源系統

C60-40 離子源系統
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

C60-40 離子源系統 是目前性能較高的C60光束,具有300納米的光斑尺寸和高達1毫安的束流。從生物醫學(xué)應用到聚合物科學(xué)和冶金,C60-40都可以做到這一點(diǎn)。得益于與其他C60離子束相同的均勻濺射,但由于更高的束能量,C60-40具有難以置信的精細斑點(diǎn)和更高的蝕刻率,是一種用于廣泛應用的極其強大的分析工具。

產(chǎn)品型號:C60 40
更新時(shí)間:2024-07-11
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:652

簡(jiǎn)介

C60-40 離子源系統 是目前性能較高的C60光束,具有300納米的光斑尺寸和高達1毫安的束流。

從生物醫學(xué)應用到聚合物科學(xué)和冶金,C60-40都可以做到這  一點(diǎn)。得益于與其他C60離子束相同的均勻濺射,但由于更高 的束能量,C60-40具有難以置信的精細斑點(diǎn)和更高的蝕刻率,是一種用于廣泛應用的極其強大的分析工具。 

C60-40 離子源系統 是一款出色的全能型產(chǎn)品,Ionoptika銷(xiāo)售的每臺J105SIMS儀器中都包含C60-40。

       

 

主要參數


主要應用                分析            
光斑尺寸                300 µm                
掃描范圍                1 x 1 mm                
能耗范圍                10 – 40 kV                
電流范圍                1 nA                
法蘭至機頭長(cháng)度                168 ± 5 mm               
推薦工作距離                22 ± 2 mm                
電源裝置                6U x 19’’ rack mountable unit    
電源要求                110-240VAC 13A 50/60Hz                
軟件要求                        PC running Windows 10 or later                   
集成法蘭規格                NW 63 CF                














特點(diǎn):  

◇  用于 SIMS 分析的出色的全部方位離子束;

◇  小光斑尺寸可達 300 nm;

◇  電流高達 1 nA;

◇  Wien濾波器,用于在直流和脈沖操作過(guò)程中進(jìn)行質(zhì)量濾波;

◇  提供快速脈沖、脈沖串、光柵和二次電子檢測功能;

◇  閘閥,便于快速維修



應用技術(shù): 

下圖顯示了C60-40在正離子模式下獲得的半導體堆棧的3D SIMS圖像。樣品由InSb、Al和GaAs層組成,覆蓋在保護性光刻膠層中。

這種軟有機、無(wú)機和硬金屬層的結合對于大多數其他離子束來(lái)說(shuō)是極其困難的。C60-40是這一棘手應用的理想選擇,因 為它在不同材料上具有一致的濺射速率。C60-40與300  nm的光斑尺寸相結合,是一種強大的光束,無(wú)論您使用何種類(lèi)型的樣品,都能在2D和3D中提供較高分辨率。


         

               


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