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PRODUCTS CENTER當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心三維X射線(xiàn)顯微鏡(XRM)Freiberg-Omega/Theta XRDX射線(xiàn)單晶定向儀-Omega掃描
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德國Freiberg Instruments(弗萊貝格儀器)公司的Omega/Theta XRD(X射線(xiàn)單晶定向儀-Omega掃描)主要針對半導體晶體材料和光學(xué)材料生產(chǎn)研發(fā),該儀器采用*的Omega掃描方法測定晶體結構并檢測單晶取向,具有成熟的單晶X射線(xiàn)衍射儀(XRD)技術(shù),且可集成至全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)中,是一臺可測大直徑的全自動(dòng)晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。
?技術(shù)特點(diǎn)
--全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀,使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線(xiàn)測定各種晶體的方向。配備可容納長(cháng)達450毫米和30公斤的樣品及樣品架;
--自動(dòng)化測量,并通過(guò)定制軟件進(jìn)行訪(fǎng)問(wèn)。利用Omega掃描,可在晶體旋轉(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,但每次掃描只產(chǎn)生一個(gè)方向分量;
--準確地確定傾斜角度,Theta掃描精度達到0.001°;
--模塊化系統,并配備了多功能需求擴展。
?行業(yè)應用
具有多種幾何形狀和大小的樣品
根據材料和產(chǎn)量的不同,晶體樣品可以表現出多種尺寸和幾何形狀。Omega/Theta X射線(xiàn)衍射儀(X射線(xiàn)單晶定向儀-Omega掃描)可以處理大塊鋼錠或鋼球和實(shí)驗合成的微小晶體。
非線(xiàn)性光學(xué)材料(NLO):晶體質(zhì)量和定向
與典型的無(wú)機金屬、半導體和絕緣體相比,NLO材料具有更復雜的晶體結構和更低的對稱(chēng)性。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內的小棒,而對這種小晶體的表面質(zhì)量測定常??梢越沂揪w內部的結構缺陷和裂紋。通過(guò)對Omega/Theta的設計進(jìn)行的一些特殊的修改,我們的定向儀能夠確定許多NLO材料,如LBO, BBO和TeO2的的晶向。
平面方向的標記和測量
Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位。因此,平面方向可以直接識別。這是一個(gè)有用的功能,以標記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。
搖擺曲線(xiàn):晶體表面評價(jià)
搖擺曲線(xiàn)測量對晶格內的缺陷和應變場(chǎng)很敏感。將這種技術(shù)與映射階段相結合,可以?huà)呙杈w表面并確定缺陷區域。通過(guò)裝備一個(gè)具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀,可以直接測量晶體表面某一反射的搖擺曲線(xiàn)映射。
如下圖顯示的結果,這種映射的碳化硅晶圓片的內部呈現出兩到三倍于搖擺曲線(xiàn)的FWHM。這可能與表面劃痕或生長(cháng)缺陷有關(guān)。
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